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鄭科探高校半導(dǎo)體小型磁控濺射儀
內(nèi)容簡(jiǎn)介 靶材濺射,磁控濺射,離子濺射, 濺射鍍膜
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小實(shí)驗(yàn)室精密小型濺射儀器鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時(shí)間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，全自動(dòng)控制，設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)，所得結(jié)果一致，可重復(fù)性高。
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