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近年來(lái),國(guó)內(nèi)晶圓升降機(jī)構(gòu)的發(fā)展也很迅速。一些較早投入應(yīng)用的晶圓傳輸機(jī)構(gòu)。前端支持品圓機(jī)械手爪隨滑塊在導(dǎo)軌內(nèi)上下運(yùn)動(dòng),由直流電機(jī)驅(qū)動(dòng),該機(jī)構(gòu)升降行程較小、精度低,速度慢,缺少晶圓保..09月03日
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IC 制造過(guò)程各種工藝前都需要進(jìn)行晶圓的傳輸、定位和姿態(tài)調(diào)整。晶圓升降機(jī)構(gòu)就是品圓自動(dòng)傳輸系統(tǒng)重要組成部分之一。其速度、重復(fù)定位精度將直接或間接影響 IC 的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量。研究高..09月03日
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晶圓升降機(jī)構(gòu)中的真空吸附系統(tǒng)是用來(lái)吸附和釋放品圓,從而進(jìn)行晶圓的檢測(cè)和傳輸,以便實(shí)現(xiàn)傳輸?shù)母呔?。機(jī)構(gòu)要求晶圓定位精度高,真空吸附系統(tǒng)在吸附和釋放晶圓過(guò)程中盡量減小沖擊,要求吸附..09月03日
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近年來(lái),國(guó)內(nèi)晶圓升降機(jī)構(gòu)的發(fā)展也很迅速。一些較早投入應(yīng)用的晶圓傳輸機(jī)構(gòu)。前端支持品圓機(jī)械手爪隨滑塊在導(dǎo)軌內(nèi)上下運(yùn)動(dòng),由直流電機(jī)驅(qū)動(dòng),該機(jī)構(gòu)升降行程較小、精度低,速度慢,缺少晶圓保..09月03日
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電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑塊沿導(dǎo)軌導(dǎo)向運(yùn)動(dòng),檢測(cè)單元反饋位置信號(hào)控制機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),真空吸附單元與導(dǎo)軌滑塊用連接塊連接,跟隨滑塊運(yùn)動(dòng)運(yùn)載晶圓,其上加裝緩沖裝置單元,使吸管與晶圓、晶圓與上下臂和吸盤(pán)接觸..09月03日
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晶圓升降機(jī)構(gòu)中的真空吸附系統(tǒng)是用來(lái)吸附和釋放品圓,從而進(jìn)行晶圓的檢測(cè)和傳輸,以便實(shí)現(xiàn)傳輸?shù)母呔取C(jī)構(gòu)要求晶圓定位精度高,真空吸附系統(tǒng)在吸附和釋放晶圓過(guò)程中盡量減小沖擊,要求吸附..09月03日
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晶圓升降系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造中重要的工藝設(shè)備之一,常規(guī)的晶圓升降系統(tǒng)通常有兩種:其中一種晶圓升降系統(tǒng)包括:頂針、靜電吸盤(pán)、組合支架及三個(gè)升降氣缸,所述頂針通過(guò)所述組合支架固定在所述升..09月03日
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晶圓中200mm 階段,采用晶圓輸送機(jī)代替人手操作,排除人為帶入的環(huán)境污染。隨著IC 制造工藝的發(fā)展和對(duì)環(huán)境潔凈度要求的提高,國(guó)外機(jī)器人研究機(jī)構(gòu)在上世紀(jì) 80 年代開(kāi)展了晶圓自動(dòng)傳輸系統(tǒng)各部..09月03日
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晶圓升降機(jī)構(gòu)隸屬于晶圓自動(dòng)傳輸系統(tǒng),主要承擔(dān)著與晶圓裝卸機(jī)械手配合完成晶圓在加工工件臺(tái)與預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備、晶圓盒之間交接的工作。大尺寸的晶圓重量增加,更易變形破損,Z 軸方向上的定位(重..09月03日
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晶圓升降系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造中重要的工藝設(shè)備之一,常規(guī)的晶圓升降系統(tǒng)通常有兩種:其中一種晶圓升降系統(tǒng)包括:頂針、靜電吸盤(pán)、組合支架及三個(gè)升降氣缸,所述頂針通過(guò)所述組合支架固定在所述升..09月03日
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