產(chǎn)品別名 |
光馳機(jī)維修,光馳機(jī)售后服務(wù),光馳1800鍍膜機(jī)配件 |
面向地區(qū) |
OTFC-1800具備的光學(xué)薄膜形成裝置，與此同時，通過搭載離子源，可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)濾光片的量產(chǎn)。OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
機(jī)器配置如下：
| 真空室：SUS304,Ф1550*1800MM |
| 工件架：Ф1400 |
| 工件架轉(zhuǎn)速：10rpm to 30rpm (可變) |
| 光學(xué)膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A |
| 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀：波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式 |
| 水晶式膜厚計(jì)：XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器 |
| 蒸發(fā)源：2套日本電子24P雙槍 |
| 離子源：23寸光馳RF離子源 |
| 排氣系統(tǒng)：機(jī)械泵1個，擴(kuò)散泵Polycold 日本愛發(fā)科2401+1200A |
| 性能 |
| 達(dá)到壓力：7. 0X10-5Pa以下 |
| 排氣時間：20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa) |
| 基板溫度：高: 350C |
| 工作條件 |
| 電源：3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA |
| 水流量：180升/分以上 |
| 空氣壓力：0.5MPa以上 |
| 重量：約11000kg |
真空室SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架φ1600mm
工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm(可變)
光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式石英晶體傳感器
蒸發(fā)源電子槍2套
離子源23cmRF離子源
排氣系統(tǒng)機(jī)械泵+2個擴(kuò)散泵+
性能
達(dá)到壓力7.0×10-5 Pa 以下
排氣時間20分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)
基板溫度高：350℃
工作條件
設(shè)備尺寸約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
電源3相, 200V, 50/60Hz, 約150kVA
水流量180升/分以上
空氣壓力0.5MPa以上
重量約11200kg
為了更好地服務(wù)于廣大用戶，我司提供售前的技術(shù)咨詢、設(shè)備選型、解決方案，從型號的選型規(guī)劃中已確保產(chǎn)品的質(zhì)量性能、供貨時間、可上門安裝調(diào)試及保修費(fèi)用另計(jì)算、保修期外的技術(shù)支持、維修維護(hù)和技術(shù)培訓(xùn)做出如下的規(guī)劃：
1、保修服務(wù): 機(jī)械從調(diào)試合格之日起,保修3個月,保修期內(nèi)產(chǎn)品損壞非人為所致的免費(fèi)修理.(注:易損件不在保修范圍內(nèi))
2、調(diào)試服務(wù):由供方負(fù)責(zé)派員去現(xiàn)場調(diào)試、培訓(xùn)等內(nèi)容，經(jīng)調(diào)試合格后由需方出具驗(yàn)收報(bào)告.
3、安裝服務(wù):供需雙方友好協(xié)作.供方派技術(shù)人員前往安裝
